Uma das formas mais usadas para esterilização, o óxido de etileno (ETO) tem ação bactericida, fungicida, virucida e esporicida, devido a sua capacidade de interferir na síntese protéica do agente contaminante. Essa modalidade é indicada para materiais termossensíveis, que são incompatíveis com os processos convencionais de esterilização por vapor e alta temperatura. Como o ETO é um gás altamente penetrante, com grande difusibilidade e solubilidade, o material pode ser esterilizado diretamente em sua embalagens primária e secundária. Ele substitui os processos físicos de esterilização (calor seco e calor úmido) e processos químicos a frio – glutaraldeído e formaldeído.
O uso em baixa temperatura (entre 35 e 65ºC), aliado à boa compatibilidade com materiais diversos (polímeros, celulose, alguns metais, componentes eletrônicos), alta penetrabilidade do gás, normas bem desenvolvidas e métodos de validação acessíveis e consistentes são vantagens do método apontada por especialistas.